Integrationstechniken für Feldeffekttransistoren mit halbleitenden Nanopartikeln

Einzel- und Multipartikel-Bauelemente
2011
ISBN: 978-3-8348-1767-9
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag

Buch, Deutsch, 228 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 370 g

Um die Produktionskosten zu reduzieren und neue Anwendungsgebiete zu erschließen, wird in den letzten Jahren zusehends die Herstellung von integrierten Schaltungen mittels Drucktechniken angestrebt. Eine aussichtsreiche Materialklasse für den Einsatz in gedruckten Halbleiterbauelementen stellen anorganische Nanopartikel dar. Insbesondere eignen sich hierfür halbleitende Nanopartikel aufgrund der theoretisch hohen Ladungsträgerbeweglichkeit und der Materialverfügbarkeit.
Karsten Wolff untersucht Integrationstechniken für die Verwendung von Halbleiternanopartikeln in Feldeffekttransistoren am Beispiel von Silizium- und Zinkoxid-Partikeln. Dabei betrachtet er sowohl klassische Dünnfilmtransistoren, nanoskalige Einzelpartikeltransistoren als auch Inverterschaltungen. Im Fokus steht das elektrische Verhalten der Bauelemente in Abhängigkeit von der Prozessführung und der Transistorarchitektur.

Zielgruppe

Wissenschaftler, Dozenten und Studenten der Elektrotechnik und der angewandten Physik mit den Schwerpunkten Halbleitertechnologie, Materialwissenschaften, Nanotechnologie und gedruckte Elektronik

Autoren/Hrsg.

Wolff, Karsten

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Technik Allgemein Nanotechnologie
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Halb- und Supraleitertechnologie
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Transistoren

Inhaltsverzeichnis

Grundlagen, Nanopartikel und deren Eigenschaften; Transistoraufbau und –funktionsweise; Integrationstechniken; Feldeffekttransistoren mit Silizium-Nanopartikeln; Feldeffekttransistoren mit Zinkoxid-Nanopartikeln; Schaltungen; Anhang: Prozesstechnik, Finite-Elemente-Simulation

Über Autor(innen)

Dr.-Ing. Karsten Wolff promovierte bei Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann am Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik der Universität Paderborn.