Völklein / Mildenberger / Zetterer | Einführung in die Mikrosystemtechnik | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Deutsch, 400 Seiten, eBook

Reihe: Studium Technik

Völklein / Mildenberger / Zetterer Einführung in die Mikrosystemtechnik

Grundlagen und Praxisbeispiele
2000
ISBN: 978-3-322-91572-6
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Grundlagen und Praxisbeispiele

E-Book, Deutsch, 400 Seiten, eBook

Reihe: Studium Technik

ISBN: 978-3-322-91572-6
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind.

Völklein / Mildenberger / Zetterer Einführung in die Mikrosystemtechnik jetzt bestellen!

Zielgruppe

Upper undergraduate

Autoren/Hrsg.

Völklein, Friedemann
Zetterer, Thomas
Mildenberger, Otto

Weitere Infos & Material

Basistechnologien: Reinraumtechnologie - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik - Dünnschichttechnologie - Lithographie - Planare Mikrostrukturierung - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Grundstrukturen und Anwendungen - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme - Übungen

Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden.
Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz.

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