Völklein / Mildenberger / Zetterer | Einführung in die Mikrosystemtechnik | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Deutsch, 400 Seiten, eBook

Reihe: Studium Technik

Völklein / Mildenberger / Zetterer Einführung in die Mikrosystemtechnik

Grundlagen und Praxisbeispiele
2000
ISBN: 978-3-322-91572-6
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Grundlagen und Praxisbeispiele

E-Book, Deutsch, 400 Seiten, eBook

Reihe: Studium Technik

ISBN: 978-3-322-91572-6
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Völklein / Mildenberger / Zetterer Einführung in die Mikrosystemtechnik jetzt bestellen!

Zielgruppe

Upper undergraduate

Autoren/Hrsg.

Völklein, Friedemann
Zetterer, Thomas
Mildenberger, Otto

Weitere Infos & Material

Basistechnologien: Reinraumtechnologie - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik - Dünnschichttechnologie - Lithographie - Planare Mikrostrukturierung - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Grundstrukturen und Anwendungen - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme - Übungen

Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden. Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz.

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