Buch, Englisch, Band 94, 132 Seiten, Book, Gewicht: 395 g
Reihe: Topics in Current Chemistry
Buch, Englisch, Band 94, 132 Seiten, Book, Gewicht: 395 g
Reihe: Topics in Current Chemistry
ISBN: 978-3-540-10166-6
Verlag: Springer
Zielgruppe
Research
Autoren/Hrsg.
Weitere Infos & Material
Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.