Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry

A User's Guide
1. Auflage 1999
ISBN: 978-0-471-18172-9
Verlag: Wiley

Buch, Englisch, 248 Seiten, Format (B × H): 161 mm x 240 mm, Gewicht: 542 g

Mit Hilfe der Ellipsometrie mißt man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)

Autoren/Hrsg.

Tompkins, Harland G

McGahan, William A

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Sonstige Technologien | Angewandte Technik Angewandte Optik
• Naturwissenschaften Physik Elektromagnetismus Optik

Inhaltsverzeichnis

Perspective and History.

Fundamentals.

Optical Properties of Materials and Layered Structures.

Instrumentation.

The Anatomy of a Reflectance Spectrum.

Aspects of Single-Wavelength Ellipsometry.

The Anatomy of an Ellipsometric Spectrum.

Analytical Methods and Approach.

Optical Data Analysis.

Quality Assurance.

Very Thin Films.

Roughness.

Appendices.

Index.

Über Autor(innen)

Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.

William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.