Thompson / Willson / Bowden | INTRO MICROLITH 2ED ACSPR C | Buch | 978-0-8412-2848-1 | www2.sack.de

Buch, Englisch, 540 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 235 mm, Gewicht: 856 g

Reihe: ACS Professional Reference Book

Thompson / Willson / Bowden

INTRO MICROLITH 2ED ACSPR C


2. Auflage 2019
ISBN: 978-0-8412-2848-1
Verlag: Oxford University Press

Buch, Englisch, 540 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 235 mm, Gewicht: 856 g

Reihe: ACS Professional Reference Book

ISBN: 978-0-8412-2848-1
Verlag: Oxford University Press

Updated and expanded! Reviews the theory, materials, and processes that are used in the lithographic process. Opens with a brief historical introduction to the advances in microlithography. Discusses four major topics: the physics of the lithographic process, organic resist materials, resist processing, and plasma etching. Designed as a tutorial for researchers with no experience in the field, as well as those experienced in microlithography. Will also prove invaluable to those already involved in microlithography. Includes numerous references for more detailed reading on specific aspects of microlithography.

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Autoren/Hrsg.

Thompson, Larry F.
Willson, C. Grant
Bowden, Murrae J.

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