Buch, Englisch, 185 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm
Reihe: Science for Systems
Buch, Englisch, 185 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm
Reihe: Science for Systems
ISBN: 978-3-8396-2103-5
Verlag: Fraunhofer Verlag
This work experimentally assesses the frequency capability of the vertical fin field-effect transistor (FinFET) in the GHz regime. It develops a process capable of manufacturing RF-compatible FinFETs on a wafer scale. Furthermore, two assumed drawbacks of the vertical FinFET concept are successfully addressed: the use of electron beam lithography for structuring sufficiently narrow fins and the limited yield due to high device complexity. Small-signal analyses for devices consisting of up to 100 fins are presented, achieving cut-off frequencies beyond 10 GHz. The limitations of the concept in terms of gate capacitance and resitance are analysed. Ultimately, this work provides estimations for achievable maximum frequencies of oscillations for the vertical GaN FinFET concept.
Autoren/Hrsg.
Fachgebiete
- Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Mikrowellentechnik
- Technische Wissenschaften Energietechnik | Elektrotechnik Elektrotechnik
- Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Materialwissenschaft: Elektronik, Optik
- Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Bauelemente, Schaltkreise
- Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Elektronische Baugruppen, Elektronische Materialien
- Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Halb- und Supraleitertechnologie