Schomburg | Introduction to Microsystem Design | E-Book | www2.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 384 Seiten

Reihe: RWTHedition

Schomburg Introduction to Microsystem Design


2. Auflage 2015
ISBN: 978-3-662-47023-7
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Englisch, 384 Seiten

Reihe: RWTHedition

ISBN: 978-3-662-47023-7
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

This book systematically describes the design options for micro systems as well as the equations needed for calculating the behavior of their basic elements. The fundamental equations needed to calculate the effects and forces that are important in micro systems are also provided. Readers do not require previous knowledge of fabrication processes. This second edition of the volume is a thoroughly revised and extended update. The target audience primarily comprises experts in the field of micro systems and the book is also suitable for graduate engineering students. For quick reference, equations are presented in tables that can be found in an index at the end of the book.

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Autoren/Hrsg.

Schomburg, Werner Karl

Weitere Infos & Material

1;Preface;6
2;Preface of the First Edition;7
3;Contents;9
4;Notations and Symbols;11
5;List of Tables;23
6;1 Introduction;25
7;2 Scaling Laws;27
8;3 Elastic Deformations;29
9;4 Thin Films;33
9.1;Exercises;40
10;5 Conductor Paths;46
10.1;Exercises;52
11;6 Electrical Measurements;54
11.1;Exercises;65
12;7 Membranes;66
12.1;Exercises;92
13;8 Strain Gauges on Membranes;95
13.1;Exercises;109
14;9 Beams;113
14.1;Exercises;129
15;10 Vibrations;133
15.1;Exercises;150
16;11 Capillaries;156
16.1;Exercises;177
17;12 Capacitive Forces;181
17.1;Exercises;193
18;13 Piezoelectric Effect;194
18.1;Exercises;214
19;14 Thermal Actuators;219
19.1;Exercises;234
20;15 Micro Optics;240
20.1;Exercises;252
21;16 Diffusion;254
21.1;Exercises;263
22;17 Micro Valves;265
22.1;Exercises;286
23;18 Micro Pumps;292
23.1;Exercises;309
24;19 Micro Dosing;315
25;20 Analogies of Physical Domains;317
25.1;Exercises;323
26;21 Mechanical Devices for Electronics;326
26.1;Exercises;335
27;22 Pressure Sensors;339
27.1;Exercises;348
28;23 Flow Sensors;351
28.1;Exercises;363
29;24 Inertial Sensors;366
29.1;Exercises;372
30;List of Characteristic Curves of Actuators;374
31;List of Characteristic Curves of Sensors;374
32;Typical Material Properties;375
33;References;376
34;Index;381

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