Ru / Liu / Sun | Nanopositioning Technologies | E-Book | www2.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 420 Seiten

Reihe: Engineering (R0)

Ru / Liu / Sun Nanopositioning Technologies

Fundamentals and Applications
1. Auflage 2016
ISBN: 978-3-319-23853-1
Verlag: Springer Nature Switzerland
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Fundamentals and Applications

E-Book, Englisch, 420 Seiten

Reihe: Engineering (R0)

ISBN: 978-3-319-23853-1
Verlag: Springer Nature Switzerland
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Autoren/Hrsg.

Ru, Changhai
Liu, Xinyu
Sun, Yu
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