Rittinger | Realisierung von AMR-Sensoren auf umgeformten metallischen Substraten | Buch | 978-3-95900-163-2 | sack.de

Buch, Deutsch, Band 03/2017, 165 Seiten, Format (B × H): 140 mm x 210 mm, Gewicht: 230 g

Reihe: Berichte aus dem IMPT

Rittinger

Realisierung von AMR-Sensoren auf umgeformten metallischen Substraten


Erstauflage 2017
ISBN: 978-3-95900-163-2
Verlag: TEWISS

Buch, Deutsch, Band 03/2017, 165 Seiten, Format (B × H): 140 mm x 210 mm, Gewicht: 230 g

Reihe: Berichte aus dem IMPT

ISBN: 978-3-95900-163-2
Verlag: TEWISS


In dieser Dissertation wird ein neuentwickelter Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Die AMR-Sensoren werden auf einem metallischen Substrat, das nach der dünnfilmtechnischen Fertigung umgeformt wird, realisiert. Durch diese Vorgehensweise soll eine erhöhte Integrationsfähigkeit von Sensoren in technischen Systemen erreicht werden. Der Funktionsnachweis der Sensoren wird beispielhaft anhand eines Messaufbaus zur Positionsmessung eines Magneten im dreidimensionalen Raum erbracht.

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