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E-Book

E-Book, Englisch, Band 45, 529 Seiten, eBook

Reihe: Springer Series in Optical Sciences

Reimer Scanning Electron Microscopy


Physics of Image Formation and Microanalysis

E-Book, Englisch, Band 45, 529 Seiten, eBook

Reihe: Springer Series in Optical Sciences

ISBN: 978-3-540-38967-5
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Scanning Electron Microscopy provides a description of the physics of electron-probe formation and of electron-specimen interactions. The different imaging and analytical modes using secondary and backscattered electrons, electron-beam-induced currents, X-ray and Auger electrons, electron channelling effects, and cathodoluminescence are discussed to evaluate specific contrasts and to obtain quantitative information.
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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Reimer, Ludwig

Weitere Infos & Material

Electron Optics of a Scanning Electron Microscope.- Electron Scattering and Diffusion.- Emission of Backscattered and Secondary Electrons.- Electron Detectors and Spectrometers.- Image Contrast and Signal Processing.- Electron-Beam-Induced Current and Cathodoluminescence.- Special Techniques in SEM.- Crystal Structure Analysis by Diffraction.- Elemental Analysis and Imaging with X-Rays.

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