Nassar / Dai | Modelling of Microfabrication Systems | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 270 Seiten, eBook

Reihe: Microtechnology and MEMS

Nassar / Dai Modelling of Microfabrication Systems


2003
ISBN: 978-3-662-08792-3
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Englisch, 270 Seiten, eBook

Reihe: Microtechnology and MEMS

ISBN: 978-3-662-08792-3
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Nassar, Raja
Dai, Weizhong

Weitere Infos & Material

1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.

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