Müller | The fabrication of hollow nanochannel resonators via UV-imprinting and conformal gas phase deposition | Buch | 978-3-8439-5517-1 | sack.de

Buch, Englisch, 221 Seiten, Paperback, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 339 g

Reihe: Physik

Müller

The fabrication of hollow nanochannel resonators via UV-imprinting and conformal gas phase deposition


Erscheinungsjahr 2024
ISBN: 978-3-8439-5517-1
Verlag: Dr. Hut

Buch, Englisch, 221 Seiten, Paperback, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 339 g

Reihe: Physik

ISBN: 978-3-8439-5517-1
Verlag: Dr. Hut

In dieser Doktorarbeit wird ein neuartiges Konzept zur Herstellung von suspendierten Nanokanal Resonatoren als dynamisch mechanischer Biosensor vorgestellt. Die neue Herstellungsmethode umfasst die Herstellung von Polymerproben mit Mikro- und Nanokanälen mithilfe von UV-Nanoimprinting, die konformale Beschichtung von Innen mit Al2O3 über ein in dieser Arbeit entwickeltes Gasphasenabscheidungskonzept, sowie die selektive Suspension der Nanokanäle mit maskiertem reaktiven Ionenätzen. Eine experimentelle Charakterisierung der mechanischen Resonatoren wird unterstützt von COMSOL FEM Simulationen.

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Autoren/Hrsg.

Müller, Manuel
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