Morlok | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf | E-Book | sack.de
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E-Book, Deutsch, Band 268, 147 Seiten, eBook

Reihe: IPA-IAO - Forschung und Praxis

Morlok Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf


1998
ISBN: 978-3-662-06656-0
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Deutsch, Band 268, 147 Seiten, eBook

Reihe: IPA-IAO - Forschung und Praxis

ISBN: 978-3-662-06656-0
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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Morlok, Oliver

Weitere Infos & Material

1 Einleitung.- 2 Stand der Technik.- 3 Physikalische und physikalisch-chemische Grundlagen der Plasmabeschichtung.- 4 Versuchsaufbau zur Schichtherstellung.- 5 Herstellung und Eigenschaften der Schichten.- 6 Anwendungen.- 7 Zusammenfassung.- 8 Literatur.

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