Menz / Mohr / Paul | Microsystem Technology | E-Book | sack.de
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E-Book, Englisch, 500 Seiten, E-Book

Menz / Mohr / Paul Microsystem Technology


1. Auflage 2008
ISBN: 978-3-527-61301-4
Verlag: Wiley-VCH
Format: PDF
 Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)

E-Book, Englisch, 500 Seiten, E-Book

ISBN: 978-3-527-61301-4
Verlag: Wiley-VCH
Format: PDF
 Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)

Dieses Buch gibt einen umfassenden Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Im Mittelpunkt steht der Systemgedanke, d.h. die Kombination von Mikroelektronik und Mikromechanik zu integrierten Mikrosystemen, die zunehmend für Steuer- und Regelaufgaben in der Umwelt-, Verkehrs-, Verfahrens-, Haus- und Fertigungstechnik sowie der Medizin eingesetzt werden.
Mehr als 200 Abbildungen und Tabellen illustrieren den klar strukturierten Text. Nach einer kurzen allgemeinen Einführung behandeln die Autoren systematisch die theoretischen und methodischen Grundlagen für eine erfolgreiche Arbeit auf diesem zukunftsträchtigen Gebiet. Parallelen zur Mikroelektronik werden gezeigt, eine detaillierte Beschreibung der verwendeten Materialien und eingesetzten Techniken schließt sich an. Breiten Raum geben die Autoren den wichtigen Verfahren wie Dünnschichttechnik, Lithographie, Silizium-Mikromechanik, LIGA-Verfahren und dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechniken, bevor zum Abschluß die Grundzüge des Systemgedankens beschrieben werden.
Das Werk wendet sich an Ingenieurwissenschaftler, besonders der Fachrichtungen Mikrosystemtechnik, Sensorik, Elektrotechnik, Maschinenbau, Meß- und Regelungstechnik sowie an Physiker.
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Autoren/Hrsg.

Menz, Wolfgang
Mohr, Jürgen
Paul, Oliver

Weitere Infos & Material

General Introduction to Microstructure Technology
The Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Lithography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology

General Introduction to Microstructure Technology
The Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Litography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology

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