Lucovsky / Ibbotson / Hess | Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes: Volume 165 | Buch | 978-1-55899-053-1 | sack.de

Buch, Englisch, 270 Seiten, Format (B × H): 152 mm x 231 mm, Gewicht: 612 g

Reihe: MRS Proceedings

Lucovsky / Ibbotson / Hess

Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes: Volume 165


Erscheinungsjahr 1990
ISBN: 978-1-55899-053-1
Verlag: Cambridge University Press

Buch, Englisch, 270 Seiten, Format (B × H): 152 mm x 231 mm, Gewicht: 612 g

Reihe: MRS Proceedings

ISBN: 978-1-55899-053-1
Verlag: Cambridge University Press

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

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Autoren/Hrsg.

Lucovsky, Gerald
Ibbotson, Dale E
Hess, Dennis W

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