Klein | Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten | Buch | 978-3-8381-2787-3 | sack.de

Buch, Deutsch, 192 Seiten, Paperback, Format (B × H): 150 mm x 220 mm, Gewicht: 304 g

Klein

Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten

Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik
Erscheinungsjahr 2015
ISBN: 978-3-8381-2787-3
Verlag: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften AG Co. KG

Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik

Buch, Deutsch, 192 Seiten, Paperback, Format (B × H): 150 mm x 220 mm, Gewicht: 304 g

ISBN: 978-3-8381-2787-3
Verlag: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften AG Co. KG


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