Buch, Deutsch, 192 Seiten, Paperback, Format (B × H): 150 mm x 220 mm, Gewicht: 304 g
Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik
Buch, Deutsch, 192 Seiten, Paperback, Format (B × H): 150 mm x 220 mm, Gewicht: 304 g
ISBN: 978-3-8381-2787-3
Verlag: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften AG Co. KG