Kißling | Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen | Buch | 978-3-86644-548-2 | sack.de

Buch, Deutsch, Band 6, 109 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 199 g

Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie

Kißling

Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen


Erscheinungsjahr 2014
ISBN: 978-3-86644-548-2
Verlag: Karlsruher Institut für Technologie

Buch, Deutsch, Band 6, 109 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 199 g

Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie

ISBN: 978-3-86644-548-2
Verlag: Karlsruher Institut für Technologie

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.

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Autoren/Hrsg.

Kißling, Stephanie
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