Höfflinger | Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden | Buch | 978-3-531-03133-0 | sack.de

Buch, Deutsch, Band 3133, 42 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 244 mm, Gewicht: 103 g

Reihe: Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen

Höfflinger

Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden


1982
ISBN: 978-3-531-03133-0
Verlag: VS Verlag für Sozialwissenschaften

Buch, Deutsch, Band 3133, 42 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 244 mm, Gewicht: 103 g

Reihe: Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen

ISBN: 978-3-531-03133-0
Verlag: VS Verlag für Sozialwissenschaften

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Höfflinger Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden jetzt bestellen!

Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Höfflinger, Bernd

Weitere Infos & Material

1. Kurzfassung.- 2. Ausgangszielsetzung.- 3. Beschreibung der Teststrukturen.- 3.1 Layout.- 3.2 Technologie.- 4. Angewandte Meßverfahren.- 4.1 Methoden zur Bestimmung der Minoritätsträgerlebensdauer.- 4.2 Messung der Sperrströme.- 4.3 Messung der spektralen Empfindlichkeit.- 5. Einfluß der Optimierungsmöglichkeiten.- 5.1. Dicke des als Antireflexionsschicht benutzten Oxids.- 5.2. Vergleich verschiedener implantierter Profile.- 5.3 Einfluß von Gettertechniken.- 5.4 Layouteinfluß.- 6. Vergleich der Fotodioden in p-Kanal, n-Kanal und CMOS-Technologie.- 6.1 Spektrale Empfindlichkeit.- 6.2 Sperrströme.- 6.3 Schaltzeiten.- 7. Literaturverzeichnis.- 8. Bildanhang.

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