Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
2006
ISBN: 978-3-8351-0003-9
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag

Buch, Deutsch, 274 Seiten, Paperback, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 376 g

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Zielgruppe

Studierende der Elektrotechnik und Informationstechnik und der angewandten Physik
Mikrotechnologen und Ingenieure aus dem Bereich der Mikrotechnologien

Autoren/Hrsg.

Hilleringmann, Ulrich

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Sensorik
• Technische Wissenschaften Energietechnik | Elektrotechnik Elektrotechnik
• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Maschinenbau Mechatronik, Mikrosysteme (MEMS), Nanosysteme
• Naturwissenschaften Physik Angewandte Physik

Inhaltsverzeichnis

Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.

Über Autor(innen)

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.