Herzog | Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Deutsch, Band 255, 123 Seiten, eBook

Reihe: IPA-IAO - Forschung und Praxis

Herzog Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben


1997
ISBN: 978-3-642-47908-3
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Deutsch, Band 255, 123 Seiten, eBook

Reihe: IPA-IAO - Forschung und Praxis

ISBN: 978-3-642-47908-3
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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Herzog, Olaf

Weitere Infos & Material

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Flexible Halbleiterfertigung.- 2.3 Fertigungsgeräte und Materialfluß.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 3 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.1 Einfluß der Prozeßtechnik.- 3.2 Einfluß der Gerätetechnik.- 3.3 Einfluß der Werkstattsteuerung.- 3.4 Einfluß von Informationssystemen auf operativer Ebene.- 3.5 Lösungsansätze zur wirtschaftlichen Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.6 Zusammenfassung der Untersuchungsergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Anforderungen an das Verfahren zur Mischlosbildung.- 4.2 Anforderungen an ein System zur Einzelscheibenverfolgung.- 5 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.1 Modellierung der operativen Ebene.- 5.2 Arbeitsprinzip der Mischlosverwaltung.- 5.3 Aufbaustruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.4 Ablaufstruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.5 Funktionale Defizite auf operativer Ebene.- 6 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 6.1 Materialverwaltung.- 6.2 Umhordetechnik.- 6.3 Schnittstelle zur Identifikation.- 6.4 Schnittstelle zur Gerätetechnik.- 6.5 Schnittstelle zur Werkstattsteuerung.- 6.6 Systemstruktur.- 7 Realisierung und Erprobung.- 7.1 Vorversuche zum Verfahren zur Mischlosbildung.- 7.2 Realisierung des Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 7.3 Diskussion der Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.

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