Buch, Deutsch, Band 2, 125 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 222 g
Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
Buch, Deutsch, Band 2, 125 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 222 g
Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
ISBN: 978-3-86644-496-6
Verlag: Karlsruher Institut für Technologie
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.




