Franz | Kalte Plasmen | E-Book | www2.sack.de
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E-Book, Deutsch, 300 Seiten, eBook

Franz Kalte Plasmen

Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen
1990
ISBN: 978-3-662-08045-0
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

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ISBN: 978-3-662-08045-0
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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Franz, Gerhard

Weitere Infos & Material

1 Einleitung.- 2 Phänomenologische Beschreibung einer Gleichstrom-Glimmentladung.- 3 Das Plasma.- 4 Erzeugung von Ladungsträgern I.- 5 Erzeugung von Ladungsträgern II.- 6 RF-Entladungen.- 7 Sputtern.- 8 Trockenätzverfahren.- 9 Ätzmechanismen.- 10 Ionenstrahlsysteme.- 11 Cyclotron-Resonanz-Systeme.- 12 Ausblick.- 13 Anhang.- 14 Erklärung der verwendeten Symbole und Akronyme.- 15 Literaturverzeichnis.- 16 Bildquellennachweis.- 17 Sachverzeichnis.

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