Ehrlich / Higashi / Oprysko | Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101 | Buch | 978-0-931837-69-2 | sack.de

Buch, Englisch, 536 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 234 mm, Gewicht: 1021 g

Reihe: MRS Proceedings

Ehrlich / Higashi / Oprysko

Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101


Erscheinungsjahr 1988
ISBN: 978-0-931837-69-2
Verlag: Cambridge University Press

Buch, Englisch, 536 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 234 mm, Gewicht: 1021 g

Reihe: MRS Proceedings

ISBN: 978-0-931837-69-2
Verlag: Cambridge University Press

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

Ehrlich / Higashi / Oprysko Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101 jetzt bestellen!

Autoren/Hrsg.

Ehrlich, Daniel J
Higashi, Gregg S
Oprysko, Modest M

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