E-Book, Deutsch, 240 Seiten, eBook
Reihe: Angewandte Physik
Büttgenbach Mikromechanik
1991
ISBN: 978-3-322-92135-2
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Einführung in Technologie und Anwendungen
E-Book, Deutsch, 240 Seiten, eBook
Reihe: Angewandte Physik
ISBN: 978-3-322-92135-2
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Zielgruppe
Upper undergraduate
Autoren/Hrsg.
Weitere Infos & Material
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- 2 Werkstoffe der Mikromechanik.- 3 Reinraumtechnik.- 4 Technologie der Mikromechanik.- 5 Meßmethoden.- 6 Anwendungen der Mikromechanik.- 7 Mikrosystemtechnik.