Buch, Englisch, 622 Seiten, Format (B × H): 183 mm x 260 mm, Gewicht: 1446 g
Reihe: Microdevices
Buch, Englisch, 622 Seiten, Format (B × H): 183 mm x 260 mm, Gewicht: 1446 g
Reihe: Microdevices
ISBN: 978-0-306-44146-2
Verlag: Springer US
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
Zielgruppe
Research
Autoren/Hrsg.
Fachgebiete
- Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Elektronische Baugruppen, Elektronische Materialien
- Technische Wissenschaften Verfahrenstechnik | Chemieingenieurwesen | Biotechnologie Technologie der Oberflächenbeschichtung
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Festkörperphysik, Kondensierte Materie
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Dünne Schichten
- Naturwissenschaften Physik Angewandte Physik
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Nanotechnologie
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Physik, Chemie für Ingenieure
Weitere Infos & Material
1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
