Behrisch | Sputtering by Particle Bombardment II | Buch | 978-3-662-31169-1 | sack.de

Buch, Englisch, Band 52, 394 Seiten, Format (B × H): 152 mm x 229 mm, Gewicht: 594 g

Reihe: Topics in Applied Physics

Behrisch

Sputtering by Particle Bombardment II

Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography
Softcover Nachdruck of the original 1. Auflage 1983
ISBN: 978-3-662-31169-1
Verlag: Springer

Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography

Buch, Englisch, Band 52, 394 Seiten, Format (B × H): 152 mm x 229 mm, Gewicht: 594 g

Reihe: Topics in Applied Physics

ISBN: 978-3-662-31169-1
Verlag: Springer

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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Behrisch, R.

Fachgebiete

Weitere Infos & Material

and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.

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