Behrisch | Sputtering by Particle Bombardment I | Buch | 978-3-662-30888-2 | sack.de

Buch, Englisch, Band 47, 284 Seiten, Format (B × H): 155 mm x 235 mm, Gewicht: 458 g

Reihe: Topics in Applied Physics

Behrisch

Sputtering by Particle Bombardment I

Physical Sputtering of Single-Element Solids
Softcover Nachdruck of the original 1. Auflage 1981
ISBN: 978-3-662-30888-2
Verlag: Springer

Physical Sputtering of Single-Element Solids

Buch, Englisch, Band 47, 284 Seiten, Format (B × H): 155 mm x 235 mm, Gewicht: 458 g

Reihe: Topics in Applied Physics

ISBN: 978-3-662-30888-2
Verlag: Springer

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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Behrisch, R.

Fachgebiete

Weitere Infos & Material

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

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