Barth | Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns | Buch | 978-3-95908-013-2 | sack.de

Buch, Deutsch, 124 Seiten, Paperback, Format (B × H): 158 mm x 225 mm, Gewicht: 218 g

Reihe: Dresdner Beiträge zur Sensorik; Bd. 56

Barth

Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns


Buch, Deutsch, 124 Seiten, Paperback, Format (B × H): 158 mm x 225 mm, Gewicht: 218 g

Reihe: Dresdner Beiträge zur Sensorik; Bd. 56

ISBN: 978-3-95908-013-2
Verlag: TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH

Barth Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns jetzt bestellen!

Autoren/Hrsg.

Barth, Stephan
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