Barry | Chemistry of Atomic Layer Deposition | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 113 Seiten

Reihe: De Gruyter Textbook

Barry Chemistry of Atomic Layer Deposition


E-Book, Englisch, 113 Seiten

Reihe: De Gruyter Textbook

ISBN: 978-3-11-071259-9
Verlag: De Gruyter
Format: EPUB
 Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
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Zielgruppe

For chemistry graduate students and engineers in thin film deposi

Autoren/Hrsg.

Barry, Seán Thomas

Fachgebiete

Weitere Infos & Material

Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.

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