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Buch, Deutsch, Band 2, 170 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm
Buch, Deutsch, Band 2, 170 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm
ISBN: 978-3-8396-2078-6
Verlag: Fraunhofer Verlag
Das Ziel dieser Arbeit ist es, einen theoretischen, strukturierten Rahmen bereitzustellen, der die verschiedenen Phasen des Entwicklungsprozesses von Dünnschichtsensoren für Produktionswerkzeuge klar definiert und koordiniert. Vor diesem Hintergrund wurde ein Vorgehensmodell für die Entwicklung und Herstellung von Dünnschichtsensoren zur Verbesserung der Transparenz und Reproduzierbarkeit der Sensorqualität entwickelt. Das Modell integriert fünf Lösungsmodule - Systemanalyse, Systemstruktur, Sensorgestaltung, Sensorherstellung und Sensorcharakterisierung - in einem auf dem V-Modell basierenden Bezugsrahmen.