Gerhard Franz erwarb 1977 seinen Magistergrad in physikalischer Chemie an der Philipps-Universität Marburg und promovierte dort 1980 mit einer Arbeit über die thermodynamischen und leitfähigkeitstechnischen Aspekte der flüssigen Alkalimetalle Rubidium und Cäsium bis zu ihrem kritischen Punkt. 1981 wechselte er in die analytische Abteilung und nach fünf Jahren in die Abteilung Photonik der Siemens Research Laboratories in München, wo er 1992 für die Entwicklung plasmabasierter Verfahren, insbesondere des reaktiven Ionenätzens (RIE) und der Plasmadiagnostik, verantwortlich war. 2002 wechselte er an die Hochschule München, an der er bis 2019 als Professor für Angewandte Physik tätig war. Seine pädagogischen Interessen konzentrieren sich auf die Ausbildung von Doktoranden im Masterstudiengang "Mikro- und Nanotechnologie", in dem er seit mehr als 15 Jahren den Aufnahmekurs unterrichtet, der zur Grundlage dieser Lehrbücher geworden ist. Im Jahr 2005 gründete er zusammen mit einigen Kollegen der Technischen Universität München das Zentrum für Nanostrukturtechnologie. Bald weckte die chemische Gasphasenabscheidung der organischen Verbindung Poly-p-xylol sein Interesse und wurde zum zweiten Zentrum seiner Forschung. Gerhard Franz ist Autor von vier Büchern über Tieftemperatur-Plasmaphysik und Mikrostrukturierungstechnik, hält mehr als 70 externe Vorträge und hat mehr als 60 begutachtete Bücher verfasst. Themen sind vor allem RIE von III/V-Halbleitern, photonische Bauelemente, die mit dieser Technologie hergestellt wurden, Plasmadiagnostik und chemische Gasphasenabscheidung.
Gerhard Franz earned his master degree in physical chemistry from Philipps University, Marburg, Germany, in 1977, and the Ph.D. degree, with a thesis on the thermodynamical and conductivity aspects of the fluid alkali metals rubidium and cesium up to their critical point, from Philipps University, in 1980. In 1981, he joined the Analytical Department, Siemens Research Laboratories, Munich, Germany, and after five years, he moved to the Photonics Department, Siemens Research Laboratories, where he became responsible for the development of plasma-based processes in 1992, in particular reactive ion etching (RIE) and plasma diagnostics. In 2002, he joined Munich University of Applied Sciences, Munich, where he has been professor for applied physics until 2019. His educational interests are focused on the education of graduate students in the master course „micro- and nanotechnology", where he has taught the entrance course for more than 15 years which has become the basis of these textbooks. In 2005, he founded the Center for Nanostructure Technology together with some colleagues from Technical University of Munich, Munich. Soon, chemical vapor deposition of the organic compound poly-p-xylylene arouse his interest and became the second center of his research. Gerhard Franz has authored four books on low-temperature plasma physics and microstructuring technology, delivered more than 70 external lectures and has written more than 60 peer-reviewed papers. Topics are mainly RIE of III/V semiconductors, photonic devices which were fabricated with this technology, plasma diagnostics, and chemical vapor deposition.