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Materialwissenschaft: Elektronik, Optik
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Schlipf / Michaelis / Fraunhofer IKTS, Dresden Micromechanical indentation study of stress related effects in transistor channels.
Erscheinungsjahr 2022Verlag: Fraunhofer VerlagISBN: 978-3-8396-1797-7Medium: Buch55,00 € (inkl. MwSt.)
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